Etcher & Stripper
본문
Thiết bị loại bỏ lớp lắng đọng theo hình dạng P/R trong quá trình TFT-LCD
Feature
1. Cải thiện khả năng vận chuyển chất nền bằng cách thực hiện vận chuyển nghiêng thông qua Băng tải nghiêng
2. Cải thiện khả năng khắc & tính đồng nhất cũng như giảm thiểu hạt bằng cách sử dụng EUV, Disk & Roll-Brush, Vòi sen chất lỏng áp suất cao & đôi
3. Ngăn chặn sự hình thành khói và các hạt bằng hệ thống vận chuyển từ tính không tiếp xúc
4. Đảm bảo không gian bảo trì thông qua thiết kế tối ưu phần đường ống
Application
- - TF Etcher, TF Stripper
